1、 半导体电子洁净车间布局要求
半导体电子洁净车间从布局上是一个独立的空间,在车间外围设置一环形密封走廊它使洁净区与外界有了一个缓冲地带,能够防止外界污染同时也相对节能。 洁净车间内门窗宜于内墙面平整, 不设置窗台。 外窗的层数设置和结构形式要充分考虑对空气水分的密封, 使污染粒子不易从外部渗入。 为防止室内外温差而产生结露, 室内不同洁净度的房间之间的门窗缝隙要密封。 门窗材料应选择耐侯性好, 自然变形小, 制造误差小, 气密性好的, 造型要简单, 不易积尘, 便于清扫, 门框不设门槛。 洁净车间的门窗宜用金属或金属涂塑材料, 不得使用木门窗, 以免长期受潮长菌。 外墙上的窗宜与内墙面平整, 窗台呈斜角或不留窗台, 且为双层固定窗以减少能量损失。
2、 半导体电子洁净车间地面装修要求
无尘厂房装修地面应用平整, 无缝隙, 耐磨耐腐蚀, 不易集聚静电的, 便于清理的整体地面。设计中可以采用现浇水磨石地面, 所用石子直径应在 6-15mm 之间。 其中分隔条必须采用铜条分隔, 不得采用玻璃条。 现多采用环氧自流坪地面, 它是一种树脂类复合材料地坪。 它的特点是无溶剂、 无毒无味、 无接缝、 自流找平。 可以达到镜面装饰效果、 无缝连接、 耐油类及酸、 碱、 盐化学溶剂。 具有防静电, 发尘小, 耐磨耐冲击等特点但是造价高。 大多采用于要求高洁净度、 外表美观、 无尘、 无菌的电子、 医药、 血液制品等行业生产车间地面。 环氧自流坪地面的使用寿命厚度 1mm 以上一般可使用 6 年以上。 以上地坪地面垫层下应铺设防潮层, 混凝土分仓线不宜通过洁净区。
3 、 半导体电子洁净车间墙面装修要求
半导体电子洁净车间装修墙面应光滑、 平整不起尘, 耐腐蚀, 色彩和谐, 便于识别污染物,内墙涂料必须采用防霉、 防静电、 避免眩光并能耐受清洗和消毒的材料涂刷。 墙面与地面相交处宜做半径 50 毫米的圆弧, 以减少灰尘积聚和便于清洁。 运输走廊等易撞处墙边宜设置防撞栏杆, 防止因装修材料震动而灰尘脱落。
4、 半导体电子洁净车间送风管、 灯具必须布置在技术夹层里
洁净厂房为了保证室内清洁, 所有送风管, 灯具必须布置在技术夹层里。 现在大多数制药企业采用彩钢夹心板密封吊顶。 彩钢夹心板具有重量轻, 整体强度大, 整体性好, 保温隔热发尘小等特点, 比较适用于 GMP 生产厂房。 但是吊顶的固定必须于结构主体相连, 不能与设备, 管线支架混用。 吊顶与墙面要光滑连接。 吊顶与送回风管口要可靠封闭。 吊顶安装完成后要进行灯检, 保证无缝隙。 根据工艺要求, 一般在技术夹层内应设置检修走道, 便于管道的检修和更换过滤器。 技术夹层的墙面与天棚需刷涂料饰面。